Maschinenbau trifft auf Halbleitertechnologien
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Maschinenbau trifft auf Halbleitertechnologien
Masterstudenten mit dem Studienschwerpunkt Oberflächentechnik und Mitarbeiter der Arbeitsgruppe Galvano- und Oberflächentechnik besuchten im Januar das Unternehmen Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) in Dresden. Der Geschäftsführer Thomas Schmidt begrüßte die Teilnehmer der Exkursion und stellte das Unternehmen vor.
Über 300 Mitarbeiter bei AMTC beschäftigen sich mit Fertigung von Photomasken, die ein wichtiger Bestandteil der Microchipherstellung, sprich der Fertigung von integrierten Schaltkreisen auf Siliziumsubstraten, sind, die in allen elektronischen Geräten verbaut werden. Beispielsweise sind in einem Elektroauto bis zu 3000 Microchips verbaut! Die Photomasken sind hochreine Quarzplatten mit speziellen Strukturen, die für die Realisierung der Leiterstrukturen in den Microchips, deren Strukturen bis zu 12 nm betragen, genutzt werden (Lithographie Prozess). Bei der Herstellung der Photomasken ist der sogenannte Schreibprozess, die Umwandlung der digitalen Daten in reale Strukturen, der wichtigste Fertigungsschritt. Mithilfe von Laserlicht oder auch einem Elektronenstrahl wird der Resist auf dem Wafer bearbeitet, entwickelt und abschließend Plasmageätzt. Nach einer aufwendigen Qualitätskontrolle hat man am Ende die Photomaske mit den gewünschten Strukturen für die Chipfertigung. Moderne Hochleistungschips beinhalten bis zu 70 Ebenen für die jeweils oft unterschiedliche Masken benötig werden.
Nach der Firmenvorstellung und der Erläuterung der Fertigungsprozessschritte folgte die „Windows-Tour“. Da die gesamten Prozessschritte im Reinraum erfolgen, können Besucher durch Fensterscheiben Einblicke in die Fertigung gewinnen. Für alle Teilnehmenden war die Exkursion sehr erkenntnisreich und zeigte, dass die Schlüsseltechnologie Oberflächentechnik mit den Strukturierung- und Beschichtungsprozessen einen wesentlichen Betrag in hochmodernen Fertigungsprozessen leistet.
Text: Frank Köster (HSMW)
Bild: Frau Scholz (AMTC)
Wir arbeiten interdisziplinär mit den Fakultäten Angewandte Computer- und Biowissenschaften, Medien, Soziale Arbeit, Wirtschaftsingenieurwesen, sowie dem Institut für Kompetenz, Kommunikation und Sport - IKKS und dem Institut für Wissenstransfer und Digitale Transformation (IWD) zusammen.